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회사소개
(주)하이럭스는 Mecha System Solution, Ceramic Porous Chuck 제조 전문 기업입니다.
Ceramic Porous 선두기업 포룩스(PoLux )
하이럭스는 Mecha System Solution 기반으로 다공질 세라믹 포러스 척(PoLux) 제품을 주력으로 생산, 제조하고 있습니다.
Display 장비, 반도체 웨이퍼 장비, 2차전지 장비 분야에 특화된 진공척을 공급하는 전문 기업입니다.
2019년 창립이래 끊임없는 R&D 기술 개발을 통해 매년 지속적인 성장을 하고 있습니다.
특히, 초미세 진공 세라믹 척 제조 기술은 한국 반도체 산업 공급망의 핵심 기술로 기존에는 해외 제품을 주로 사용하였으나,
하이럭스에서 국내 기술로 원천기술을 확보하면서 외산에 의존하던 제품을 국산화로 대체하였습니다.
소재부터 완제품까지 하이럭스 자체 기술로 Polux 제품 생산을 하고 있으며, 최근에는 기존 Roll To Roll을 대체할 에어 플로팅 롤러
(CFR) 및 세라믹 포러스 컨베이어(CFP)를 개발에 성공하여, 부상 및 반송을 필요로 하는 모든 산업에 진출/계획하고 있습니다.
PoLux 제품
Wafer 검사용 PoLux Vac. Chuck
Dicing 용 PoLux Vac. Chuck
Vision 검사기용 PoLux Vac. Chuck
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